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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

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實驗室小型CVD系統(tǒng)管式爐哪家有？
您的位置：專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)真空爐、管式爐、箱式爐、氣氛爐等設(shè)備的源頭廠家-洛陽西格馬高溫電爐有限公司首頁-高溫管式爐-氣氛管式爐

實驗室小型CVD系統(tǒng)管式爐哪家有？

  • 系列：SGM
  • 別稱：氣氛管式爐
  • 溫度：
  • 規(guī)格：
  • 類型：高溫管式爐
  • 咨詢熱線：400-600-3293

  • 產(chǎn)品詳情

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    實驗電爐CVD系統(tǒng)什么意思？CVD是Chemical Vapor Deposition的簡稱，是指高溫下的氣相反應(yīng)，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。
    真空CVD系統(tǒng)簡稱CVD系統(tǒng)，CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，額定溫度可以達到1200度、1400度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合



    1700度管式爐

    這款CVD系統(tǒng)是由8路供氣系統(tǒng)+SGM1200雙溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成

    SGM1200雙溫區(qū)管式爐:以硅碳棒或電爐絲為加熱元件，有兩個加熱區(qū)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，每個加熱區(qū)能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端裝有304不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa，該爐為臥式，兩個溫區(qū)可以立控制、設(shè)置不同的溫度，使用方便，操作簡單。該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的不錯產(chǎn)品.。

    實驗室想買一套CVD的設(shè)備請問管式爐什么牌子?洛陽西格馬高溫電爐專業(yè)生產(chǎn)CVD管式爐CVD實驗真空爐。

    1200℃單溫區(qū)CVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)：

    ?1200℃管式爐CVD系統(tǒng)
    單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)

    SGM.? CVD/12L

    1200℃

    ?420mm

    210mm

    ?Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm

    ?2.5Kw

    ?220V

    ?廈門宇電 控溫系統(tǒng)50段程序控溫；

    ? ±1℃

    ＜1200℃

    密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在一第次使用設(shè)備的時候安裝

    ?質(zhì)量流量計

    ?3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）

    0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮氣標(biāo)定

    ?±1%F.S

    ≤4sec

    5-45℃

    ?進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）

    ?采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀

    ?中真空

    ?10Pa/100Pa

    ?雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/S,出氣口配有油污過濾器，額定電壓220V，功率0.55Kw

    ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?340×580×555mm

    ? ? ? ? ? ? ? 480×770×605mm

    ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?530x1440x750mm

    ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 230kg


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